Xcimer Energy公司采用了电子束做泵浦，这既使得LPK实现了3μs脉宽的激光输出，刷新了同类型激光器输出脉宽的世界记录（之前曾是500 ns），还大大提升了KrF准分子激光器的泵浦效率。 Xcim…
