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  • 半导体欧姆接触工艺 | MoGe₂P₄实现超低接触电阻的TLM验证

    半导体欧姆接触工艺 | MoGe₂P₄实现超低接触电阻的TLM验证

    1天前

    本文通过第一性原理计算,系统揭示MoGe₂P₄与六种金属(In、Ag、Au、Cu、Pd、Pt)的界面特性,阐明其超低接触电阻的物理机制。隧穿特性与接触电阻 (a)-(f) MGP–金属接触沿z轴的有效静电…

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