LFIX质量流量控制法实时配气仪通过质量流量控制器（MFC）或比例阀控制多组分气体流量，实现ppm至百分比级浓度混合。配气仪支持程序化调节浓度、流量，部分设备可联网远程操作。能实时监测并存储浓度、流量、压力…
