相较于传统湿法工艺，其具有各向异性强（侧壁垂直度＞85°）、关键尺寸控制精度高（±5nm）、工艺稳定性好（批次波动＜2%）三大优势。 玻璃通孔（TGV）：处理深宽比＞10:1的通孔时，去胶均匀性达±3%，较湿…
