光电子发射后原子内层产生一个空穴，这时原子处于激发态，在去激发过程中又能引起俄歇电子发射，其过程几乎和光电子发射同时发生，所以在能谱图中除光电子峰外还会出现X射线激发的俄歇电子峰，而且俄歇电子峰往往出现一群…
