但长期以来,硒化铟的大面积、高质量制备未能实现,制约着该材料走向大规模集成应用,成为国际半导体领域的一大技术挑战。 北大电子学院研究员邱晨光说,团队现已制备出直径5厘米的硒化铟晶圆,并构建了高性能晶体管大规模…