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ASML申请用于一维板簧引导的改善的动态几何结构专利，减小引导平台在z轴上的刚度(asml产品有哪些)

金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于一维板簧引导的改善的动态几何结构”的专利，公开号CN120435690A，申请日期为2023年12月。 专利摘要显示…