本文将以泽攸科技的ZEL304G电子束光刻机为例,深入解析电子枪的工作原理与技术突破,揭示其如何赋能高端芯片研发与量子器件制造。ZEL304G通过优化场发射针尖的真空环境与发射机制,将电子束亮度提升至行业领先…