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更厉害的是 中科院在EUV光刻技术上也有了重大突破 虽然细节不能全说 但是据内部消息 性能已经不输ASML的最新产品。 更有意思的是ASML还专门派了一个团队到中国来"技术交流" 其实就是想看看我们的技术

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