材料革命:氧化锆陶瓷盘如何成为半导体芯片的 “隐形守护者”?(材料在工业革命中的作用)
氧化锆陶瓷之所以能脱颖而出,首先得益于其 “烈火金刚” 般的物理性能 —— 熔点高达 2715℃,在 1200℃高温下仍能保持强度不下降,这使得它在离子注入、薄膜沉积等高温工艺中稳如泰山。氧化锆陶瓷盘通过极致…
氧化锆陶瓷之所以能脱颖而出,首先得益于其 “烈火金刚” 般的物理性能 —— 熔点高达 2715℃,在 1200℃高温下仍能保持强度不下降,这使得它在离子注入、薄膜沉积等高温工艺中稳如泰山。氧化锆陶瓷盘通过极致…