东吴证券-中微公司-688012-发布多款刻蚀、薄膜新品,平台化布局持续加速-250906(东吴证券研究院)
新品ALD覆盖多种先进制程金属,双腔EPI满足客户降本增效需求:(1)Preforma Uniflash系列ALD:覆盖TiN、TiAl、TaN三大材料,独创双反应台与多级混气设计,薄膜均一性和效率达到国际…
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