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朗姆研究公司申请深宽比依赖性降低的选择性蚀刻的方法专利,实现蚀刻层的高效蚀刻

金融界2025年1月16日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“深宽比依赖性降低的选择性蚀刻的方法”的专利,公开号 CN119297083 A,申请日期为2017年9月。 专利摘要显示,提…

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