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HighNAEUV

  • 消息称三星电子 2025 年初引进其首台 ASML High NA EUV 光刻机

    消息称三星电子 2025 年初引进其首台 ASML High NA EUV 光刻机

    4月前

    由于三星目前半导体先进制程路线图已规划至 SF1.4 节点,采用 High-NA 光刻的制程最早也需要等到 SF1。

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