泛林推出全球首台钼原子层沉积设备 ALTUS Halo，已获美光等应用
月 21 日消息，半导体设备巨头泛林集团 Lam Research 美国加州当地时间 19 日宣布正式推出全球首型钼（Mo）原子层沉积（注：即ALD）设备 ALTUS Halo，该设备已在逻辑半导体和 3D…
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