通过进一步优化纳米氧化铝的制备工艺,提高其纯度和球形度,开发与碳化硅材料更适配的化学试剂配方,实现化学腐蚀与机械研磨的精准协同,有望进一步提升碳化硅晶圆的抛光质量和效率。 抛光液中的球形纳米氧化铝作为实现第三…
沉浸1-3分钟后,待铜件的表面形成一层棕色透亮的氧化膜后,将工件从抛光液中取出,漂水冲洗,抛光工艺完成,作用于清洗掉表面多余的抛光液。把清洗干净的工件放入调配好的抛光液中,浸泡时间大约8~15S左右即可,至表…
铜材化学抛光液是一种利用化学反应原理,通过化学药剂的作用使铜材表面氧化膜溶解,同时使金属表面形成一层致密的氧化膜,从而达到抛光效果的处理液使用铜化学抛光剂CY-503使用方法:将配置好的抛光液加温至45~50…