方法：通常使用特定的化学溶液，这些溶液可以与金属离子形成络合物并将其溶解在溶液中。 方法：一般使用高纯度的去离子水进行多次冲洗，可能还会结合有机溶剂进行最后的清洗和干燥，以保证晶圆表面无残留的水渍和其他污染…
