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传ASML取消与三星合作的半导体研究设施,转而寻求替代方案

2023年末,三星与ASML签署了一项价值1万亿韩元的协议,双方将在韩国京畿道东滩投资建设半导体芯片研究设施,并在那里共同努力改进EUV光刻制造技术。 三星已经在上月初,在其华城园区引入了首台ASML制造的H…

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