依托在AlN单晶复合衬底与UVC-LED外延领域的技术积累，北京大学王新强团队联合松山湖材料实验室第三代半导体团队，采用蓝宝石表面预处理与高温热退火相结合的方法，制备出2~6英寸、表面原子级平整（RMS ≤…
