晶圆自动清洗设备是一个什么样的机器

晶圆自动清洗设备是一个什么样的机器

晶圆是如今清洗机市场需求的一个重头,不少人还不太清楚细节。那今天就来给全面给大家介绍一下,到底晶圆自动清洗设备是一个什么样的机器?

主要类型

超声波清洗机:如硅片晶圆超声波清洗机,能有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质等,且不破坏晶片表面特性。采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业,具备全自动补液技术、独特的硅片干燥前处理技术等,还拥有彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置和工艺转换。

槽式晶圆清洗机:专为半导体晶圆材料设计。可有效清洗晶圆表面及背面的颗粒、金属污染物以及其他有机物,兼容 4-6 英寸和 6-8 英寸的晶圆。

单片清洗机:通过化学药液清洗,可以有效地去除衬底片 / 外延片表面及背面的尘粒、剥离晶圆表面的金属离子以及其他有机物。并且该设备的腔位可以根据客户的具体需求进行定制。

工作原理

超声波清洗:利用超声波的空化效应,产生大量微小气泡,气泡破裂时产生的冲击力可以去除晶圆表面的污染物。

化学清洗:使用特定的化学溶液,通过化学反应去除晶圆表面的有机物和无机物。

喷淋清洗:通过高压喷淋,将清洗液均匀喷洒到晶圆表面,进一步去除污染物。

设备结构

清洗槽:用于容纳清洗液和晶圆,通常有多个槽,每个槽负责不同的清洗步骤,如预洗、主洗、漂洗等,可能配备超声波发生器、旋转机构、抖动机构等。

送风系统:用于吹干晶圆表面的水分,确保清洗后的晶圆干燥。

纯水系统:提供高纯度的水,用于最终的冲洗步骤,确保晶圆表面的纯净度。

化学溶液处理系统:包括化学溶液的配制、输送和回收系统,确保清洗过程的连续性和效率。

控制系统:采用 PLC 和触摸屏进行精确控制,可以预设多种清洗程序,确保清洗过程的稳定性和重复性,还可与工厂的 MES(制造执行系统)连接,实现数据的实时监控和管理。

机械手传输系统:用于自动搬运晶圆,确保晶圆在各个清洗槽之间的转移安全、准确,通常采用伺服驱动,确保运行平稳和定位可靠。

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