硅晶圆的制造过程是怎么样的?硅晶圆国内上市公司有哪些?

硅晶圆的制造过程是怎么样的?硅晶圆国内上市公司有哪些?

一、硅晶圆是什么?

我们常说的晶圆,通常是指硅晶圆(silicon wafer)或硅晶片,原始材料是硅(silicon),『半导体』材料。因为其形状为圆形,故简称为晶圆(wafer)。硅晶圆的厚度大约在1毫米(mm)以下,呈圆形的硅薄片一般按照直径分为6英寸(150mm)、8英寸(200mm),12英寸(300mm),18英寸(450mm)规格不等。在硅晶圆基片上可制作成各种电路元件结构,最后将晶圆切割封装成为有特定电性功能的极小集成电路『芯片』,应用在汽车,电脑、『服务器』,小到充电器,蓝牙耳机,存储卡,只要有存储和逻辑计算功能的『芯片』都有来自硅晶圆的身影。

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二、硅晶圆的制造过程是怎么样的?

晶圆制造的三个阶段:

第一阶段制造锭(Ingot)

为了将从沙子中提取的硅作为『半导体』材料使用,首先需要经过预处理,还原反应,提高纯度等工序得到多晶硅。将多晶硅原料在坩埚中高温熔融,制造高纯度的硅溶液,在特定的物料和化学条件下使其结晶凝固。这样形成的硅柱叫做锭(Ingot)

目前单晶硅生长的主要方法有直拉法和区熔法。

第二阶段硅片切割(Wafer Slicing)

通过单晶生长工艺得到的单晶硅锭,需要去头去尾,留区硅锭的中间段的若干个硅坯,把硅坯的外围按所需直径尺寸做研削加工,(常见的有6英寸,8英寸,12英寸),并在硅坯周边切出Plat或notch的标志。再通过金刚石切割或者线切割(对于12寸晶圆,大多采用线切割),将硅坯切成厚度均匀的薄硅片。

第三阶段硅片表面抛光/(Lapping&Polishing)

切好后的硅片经过倒角后,需要再进行化学机械研磨/CMP,使其单面或者双面像镜子一样光滑,称为裸晶圆(BareWafer)

三、制造『半导体』中的硅晶圆需要哪些设备?

制作自己一颗硅晶圆需要的『半导体』技术设备进行大致有十个,它们分别是通过单晶炉、气相外延炉、氧化炉、磁控溅射台、化学工程机械使用抛光机、光刻机、离子可以注入机、引线键合机、晶圆划片机、晶圆减薄机。

四、硅晶圆国内上市公司有哪些?

1、中环股份

中环股份在太阳能单晶硅和多晶硅领域占据国内领先地位,拥有丰富的行业经验。公司具备发展硅基晶圆的产业生态链优势,未来发展前景广阔。

2、晶盛机电

晶盛机电在8寸长晶炉方面已有批量供应经验,12寸长晶炉也在部分客户现场实现长时间稳定运转。

3、有研新材

有研新材于2019年完成产业搬迁至山东德州,并成立山东有研『半导体』材料有限公司,一期投资18亿元,二期投资62亿元。

4、沪硅产业

沪硅产业子公司上海新硅300mm『半导体』硅片产能已达到25万片/月。

5、麦格米特

麦格米特参股公司瞻芯电子专注于碳化硅功率器件与配套『芯片』产业化,已开发出国内首个基于6英寸碳化硅晶圆的SiCMOSFET和SBD工艺平台。

6、上海新阳

上海新阳作为国内『半导体』材料龙头企业,其参股公司上海新硅300mm硅片正片已通过上海华力微电子有限公司认证并开始销售,目前月产能已超过6万片。

五、『半导体』设备配件常用的PFA产品有哪些?

1、PFA管,PFA管常见规格:

1/8英寸(1.6*3.2mm)、1/4英寸(3.96*6.35mm)、3/8英寸(6.35*9.525mm)、

1/2英寸(9.5*12.7mm)、3/4英寸(15.88*19.05mm)、1英寸(22.2*25.4mm)。

2、PFA接头,PFA焊接接头,PFA入珠接头,PFA扩口接头,三氟莱常见规格:包括1/8英寸、1/4英寸、3/8英寸、1/2英寸、3/4英寸和1英寸‌。

3、PFA阀门,常见规格:通常为1寸以下英制尺寸,如1/4寸、3/8寸、1/2寸、3/4寸、1寸。

4、PFA注塑件

三氟莱,高纯氟塑料制品生产厂家,『半导体』工厂高纯PFA管供应商。

本文由三氟莱PFA管小姐姐原创,欢迎关注,带你一起长知识!

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