park帕克原子力显微镜的回答：
xrd、sem和afm测试没有固定的先后顺序。xrd通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨製成粉末样品。sem和afm根据样品的特性选择乙个测试就可以。
测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。选购原子力显微镜推荐park nx-hivac。
nx-hivac的优点如下：
1、nx-hivac 真空自动控制。
hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软体使原子力显微镜的使用更便捷更高效。
2、高阶自动化特点。
nx-hivac具有大量功能从而能够最大化减少使用者输入。换言之，您可以更快速地扫瞄，提高实验室产量。
3、配备电控载物台的stepscan 自动化扫瞄。
stepscan允许使用者能够对器件进行程式设计从实现而快速便捷地多区域成像。nx-hivac让您只需五步即可完成样本扫瞄：扫瞄、提公升悬臂、移动电动平台至使用者定义座标区域、进针及重複扫瞄。
如此可极大地提高生产率，最大化减少使用者输入。
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热心网友的回答：
首先一般情况下xrd，和afm不会损伤样品表面，除非有些专门做afm检测的老师，为了一次多做些样品，可能要把你的样品剪成小块，可以提前问下。另外sem也会有这种被剪成小块，很多情况下还要被喷金，尤其是如果是检测中心的话，可能会跟其他人的样品一起测，这时就会一起被喷金。喷金时如果是高分子材料，电流太高，喷金时间太长，可能会熔化变形。
做xrd还要注意就是薄膜样品，要求表面平整，所以如果不平，也许会被压平，要考虑会不会损伤表面形貌。
afm和sem背面要贴导电胶或一般双面胶，揭下来后背面可能会有残余，如果薄膜太脆太薄也可能会被破坏。
以上是我自己总结的，希望能帮到你。
最后，我建议的是，如果上述都不妨碍的话，可以先做afm,再xrd, 最后sem.另外afm和xrd先后不很要紧。
热心网友的回答：
如果薄膜导电，不需要喷金等，可以先测afm，再测sem，最后测xrd否则先测afm，再测xrd，最后测semafm和xrd是无损检测，但afm怕样品弄髒，所以一般先测。
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