半导体设备大厂助力磷化铟芯片扩产

半导体设备大厂助力磷化铟芯片扩产

5月6日,半导体沉积设备爱思强宣布,公司最新G10-AsP系统已交付荷兰磷化铟(InP)代工企业SMART Photonics。

该设备专为砷化物/磷化物应用设计,采用创新的注入器和先进温控技术,使关键层的晶圆均匀性较前代产品提升4倍,同时,具备全自动盒到盒操作能力,并通过原位清洗确保工艺稳定性,为高质量PIC生产提供了可靠保障。

爱思强成立于1983年,其技术解决方案广泛应用于激光/LED、显示技术、数据传输、电源管理等前沿领域。

SMART Photonics是爱思强的长期合作伙伴,成立于2012年,依托埃因霍温理工大学的技术支持,已成为欧洲领先的InP PIC代工厂。

此次设备交付,标志着两家公司在磷化铟光子集成电路制造领域的合作进入新阶段,将为全球光电子产业链提供更强大的技术支持。

业界指出,近年,得益于5G/6G通信、医疗健康、人工智能等领域的快速发展,以及汽车激光雷达等传感技术的广泛应用,基于磷化铟的光子集成电路市场需求快速上升。爱思强G10-AsP系统有望提升SMART Photonics在GaAs/InP材料领域的大规模生产能力,助力其应对快速增长的市场需求。

(文/集邦化合物半导体 Flora 整理)

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