苏州耀德『半导体』取得实现紧凑空间布局与高效能反应的 CVD 反应器专利,能使反应器实现高效能反应

苏州耀德『半导体』取得实现紧凑空间布局与高效能反应的 CVD 反应器专利,能使反应器实现高效能反应

金融界 2025 年 5 月 14 日消息,国家知识产权局信息显示,苏州耀德『半导体』有限公司取得一项名为“一种实现紧凑空间布局与高效能反应的 CVD 反应器”的专利,授权公告号 CN222861715U,申请日期为 2024 年 8 月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种实现紧凑空间布局与高效能反应的 CVD 反应器,属于 CVD 反应器技术领域,包括壳体,所述壳体的顶部为开口设置,所述壳体的外侧固定安装有四个对称设置的定位座,所述壳体的上方设有盖板,所述盖板的外侧固定安装有四个对称设置的固定柱,所述固定柱上设有升降机构,四个所述固定柱之间固定安装有同一个转换盒,所述转换盒内设有导气机构。通过第一偏心轴与第二偏心轴的设置,使得第二电机的输出轴带动转板转动,转板通过第一偏心轴带动转盘围绕第二电机的输出轴心做偏心旋转,同时偏心旋转的转盘通过第二偏心轴带动多个导气盒进行自转,进而带动排气管围绕硅芯旋转喷气。

天眼查资料显示,苏州耀德『半导体』有限公司,成立于2018年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州耀德『半导体』有限公司参与招投标项目6次,财产线索方面有商标™️信息1条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可7个。

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