金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN120015674A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于处理基板的装置，其包括：具有通过其装载基板的入口并具有内部空间的壳体；用于在内部空间中支承基板的支承单元；和用于使支承单元在第一位置与第二位置之间移动的驱动单元；用于将内部空间划分为处理空间和驱动空间、并且具有在从第一位置朝向第二位置延伸的情况下形成的开口的隔板；以及连接到驱动空间以排出驱动空间中的气氛并且设置为相较于第一位置更接近第二位置的排出端口，其中，该支承单元包括：定位在处理空间中并且基板放置在其上的支承板；对支承板进行支承并且通过开口从处理空间延伸到驱动空间的支承轴；和定位为当从上方观察时与开口重叠、并且相对于支承轴朝向第一位置设置的挡板。
