应用材料公司申请具有提高的稳定性的选择性的薄膜沉积专利,在处理腔室中在基板不同区域沉积不同硬度的层

应用材料公司申请具有提高的稳定性的选择性的薄膜沉积专利,在处理腔室中在基板不同区域沉积不同硬度的层

金融界2025年6月9日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“具有提高的稳定性的选择性的薄膜沉积”的专利,公开号CN120113046A,申请日期为2023年09月。

专利摘要显示,披露了一种处理基板的方法,所述方法包括在处理腔室中在基板的特征的场区域、侧壁区域和填充区域上沉积层,其中沉积在侧壁区域上的层的一部分的硬度低于沉积在场区域上的层的一部分的硬度,并且低于沉积在填充区域中的层的一部分的硬度。

特别声明:[应用材料公司申请具有提高的稳定性的选择性的薄膜沉积专利,在处理腔室中在基板不同区域沉积不同硬度的层] 该文观点仅代表作者本人,今日霍州系信息发布平台,霍州网仅提供信息存储空间服务。

猜你喜欢

王雷接李小萌下班造型太惊艳,迪奥加发胶,两人都很显年轻(王雷与李小萌视频)

四十岁的她,肌肤依旧光滑紧致,满脸的少女感,状态好得让人难以置信!两人完全没有明星的架子,面对热情的粉丝,王雷和李小萌热情互动,聊天合影,耐心十足。 希望王雷和李小萌的爱情之舟能够一直这样甜蜜,也希望大家都…

王雷接李小萌下班造型太惊艳,迪奥加发胶,两人都很显年轻(王雷与李小萌视频)

郑州平山日本SR品牌压力开关EF40-24.0R-A1(郑州日本馆)

检测从油压受到的压力,转换为电信号,进行电气控制。 SR 气动泵 SR04006D-A2 SR 气动泵 SR06309D-A2 SR 电磁阀ADSF4-5TB-A DC24V SR 气动泵 SR10…

郑州平山日本SR品牌压力开关EF40-24.0R-A1(郑州日本馆)

跟着三星走?2亿像素主摄或全面回归,“4亿像素手机”马上要来了

搭载骁龙8至尊版和天玑9400的影像旗舰机中,小米15 Ultra、荣耀Magic 7 Pro、vivo X200ProUltra等机型都配备了2亿像素的潜望长焦镜头。 现在手机处理器性能越来越强大,即便…

跟着三星走?2亿像素主摄或全面回归,“4亿像素手机”马上要来了

海尔小蓝瓶净肤洗热水器:重新定义你的沐浴体验(海尔小蓝mini)

这款热水器的3DMAX速热技术打破了传统加热方式的局限,3500W变频功率配合双胆设计,实现了“即开即热”的沐浴体验。海尔小蓝瓶净肤洗BK7电热水器以其创新的富锶矿泉浴、超薄双胆设计、智能变频技术,重新定义…

海尔小蓝瓶净肤洗热水器:重新定义你的沐浴体验(海尔小蓝mini)

《亲爱的仇敌》热播,高叶、陈妍希演绎女性情感风暴(《亲爱的仇敌》分集剧情)

在现实生活中,陈妍希与陈晓曾有过一段备受瞩目的婚姻,二人从相识到结婚,一度被视为娱乐圈的金童玉女,收获了众多祝福。在《亲爱的仇敌》里,陈妍希饰演的角色陈凯西,是一位全职富太太。 剧中陈凯西哭着向闺蜜诉苦的…

《亲爱的仇敌》热播,高叶、陈妍希演绎女性情感风暴(《亲爱的仇敌》分集剧情)