丰豹智能取得具有耐磨压力膜的晶圆研磨头专利,压力膜不易被磨破

丰豹智能取得具有耐磨压力膜的晶圆研磨头专利,压力膜不易被磨破

金融界2025年6月18日消息,国家知识产权局信息显示,丰豹智能科技(上海)有限公司取得一项名为“一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头”的专利,授权公告号CN222986640U,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头,包括研磨头主体、转动轴、气压板、压力膜,所述气压板位于研磨头主体内部,气压板两端与研磨头主体内壁滑动连接,所述研磨头主体内壁上设有导向杆,所述研磨头主体两侧内壁开设有滑道,所述导向杆上下两端分别与滑道内壁固定连接,气压板与研磨头主体之间形成气室,气压板底部设有压力膜,压力膜边缘镶嵌薄金属垫圈,导向杆上下两端均设有限位组件,所述气压板两端通过滑块与导向杆滑动连接。本实用新型采用上述的一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头,压力膜不易被磨破,从而解决压力膜在研磨晶圆过程中因为不耐磨发生破损问题,降低生产成本。

天眼查资料显示,丰豹智能科技(上海)有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本742.8616万人民币。通过天眼查大数据分析,丰豹智能科技(上海)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可1个。

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