金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，上海诺银机电科技有限公司申请一项名为“一种五轴晶圆机器人”的专利，公开号CN120244936A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请属于晶圆机器人技术领域，公开了一种五轴晶圆机器人，包括：X轴组件，所述X轴组件上安装有Z轴组件；所述Z轴组件安装有T轴组件，所述T轴组件以Z轴方向运动；首先由上位机下达取片指令，得到取片指令后X轴组件和Z轴组件同时运动将T轴组件和RW轴组件送达到指定位置，然后T轴组件开始旋转到指定位置，进一步的R轴组件和W轴组件相继伸出，到达晶圆存放的指定位置；然后R轴传感器或者W轴传感器检测到晶圆的存在，开始夹持动作，将晶圆夹持到位后，由上位机下达下一个位置的指令，将晶圆放到指定位置后，机器人回到原点。
天眼查资料显示，上海诺银机电科技有限公司，成立于2010年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1050万人民币。通过天眼查大数据分析，上海诺银机电科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息91条，此外企业还拥有行政许可9个。
