金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司申请一项名为“一种基于动态间距的晶圆预扫描方法”的专利，公开号CN120300051A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于动态间距的晶圆预扫描方法，涉及半导体技术领域，该预扫描方法根据第i‑1组芯片动态间距以及第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标确定第i个靶面图像中各颗芯片的全局行列坐标，然后利用第i个靶面图像中各颗芯片的机械坐标更新第i‑1组芯片动态间距得到第i组芯片动态间距，继而按照第i组芯片动态间距继续对第i+1个靶面图像进行处理，该方法根据每个扫描位置处芯片的实际间距来动态更新芯片动态间距，使得对逐靶面扫描得到的靶面图像进行处理过程中使用的芯片动态间距更符合实际芯片排布情况，在扩膜不均衡导致芯片间距发生变化的情况下也能够准确扫描确定芯片的全局行列坐标，提高了预扫描成功率和准确性。
天眼查资料显示，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司，成立于2016年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4241.04万人民币。通过天眼查大数据分析，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可15个。
