金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司申请一项名为“一种基于动态间距的晶圆预扫描方法”的专利，公开号CN120300051A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于动态间距的晶圆预扫描方法，涉及『半导体』技术领域，该预扫描方法根据第i‑1组『芯片』动态间距以及第i个靶面图像中各颗『芯片』的机械坐标确定第i个靶面图像中各颗『芯片』的全局行列坐标，然后利用第i个靶面图像中各颗『芯片』的机械坐标更新第i‑1组『芯片』动态间距得到第i组『芯片』动态间距，继而按照第i组『芯片』动态间距继续对第i+1个靶面图像进行处理，该方法根据每个扫描位置处『芯片』的实际间距来动态更新『芯片』动态间距，使得对逐靶面扫描得到的靶面图像进行处理过程中使用的『芯片』动态间距更符合实际『芯片』排布情况，在扩膜不均衡导致『芯片』间距发生变化的情况下也能够准确扫描确定『芯片』的全局行列坐标，提高了预扫描成功率和准确性。
天眼查资料显示，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司，成立于2016年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4241.04万人民币。通过天眼查大数据分析，恩纳基智能装备（无锡）股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标™️信息53条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可15个。
