在现代电子制造中,投影光刻机作为核心设备之一,其性能直接影响到整个生产线的效率和产品质量。为了确保光刻机的稳定运行,上海松夏减震器有限公司推出了创新的空气弹簧隔振器解决方案。
空气弹簧隔振器是一种能够实时调节振动的智能隔振装置。它通过智能传感器检测系统振动,然后通过气缸和空气弹簧的配合,精准调节隔振阻尼,从而将振动能量有效转化为热能消耗。这种设计使得投影光与 substrate之间的接触更加平和,有效降低了机器震动对精密光刻操作的影响。
具备自动调平功能的松夏空气弹簧隔振器,采用国际先进的控制系统,确保隔振效果的持续优化。无论是大型投影光刻机还是精密仪器设备,都可以从中受益。这种创新技术不仅提升了设备的性能,也为普通用户带来更安静、更高效的使用体验。