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电容式传感器是一种把被测的机械量,如压力、位移等转换为电容量变化的传感器。其敏感部件电容器通常由极间充满空气的两个平行电极组成,。忽略边缘效应,平板电容器的电容为：
式中:s—极间介质的介电常数 4一两电极互相覆盖的有效面积 5—两电极间的距离S、A、e三个参数均可引起电容量变化，电容式传感器对应分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。
电容式传感器精度达1/200 ~ 1/500。其优点是灵敏度高、动态响应特性好、结构简单、价格便宜、过载能力强、耗电量少、造价低、对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强;其缺点是输出有非线性、寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大等。此类传感器目前应用十分稀少。
