半导体专用温控设备（Chiller）主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内的电极或其壁面，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。
半导体专用温控装置全球市场总体规模
据QYResearch调研团队最新报告“全球半导体专用温控装置市场报告2024-2030”显示，预计2030年全球半导体专用温控装置市场规模将达到10.3亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为5.6%。
如上图表/数据，摘自QYResearch半导体研究中心最新报告“全球半导体专用温控装置市场研究报告2024-2030”.
图. 全球半导体专用温控装置市场前25强生产商排名及市场占有率（基于2023年调研数据；目前最新数据以本公司最新调研数据为准）
如上图表/数据，摘自QYResearch半导体研究中心报告“全球半导体专用温控装置市场研究报告2024-2030”
根据QYResearch调研，全球范围内半导体专用温控装置生产商主要包括Advanced Thermal Sciences (ATS)、Shinwa Controls、京仪装备、Unisem、FST (Fine Semitech Corp)、SMC Corporation、Techist、Thermo Fisher Scientific、GST (Global Standarard Technology)、LAUDA-Noah等。2023年，全球前十强厂商占有大约78.0%的市场份额。
