金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种批量式peald设备的平板式等离子体发生装置”的专利，授权公告号CN223142197U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种批量式peald设备的平板式等离子体发生装置，涉及离子体发生装置技术领域。包括：真空腔室、RF线圈、介质平板、进气管路以及栅网板；所述介质平板设置于所述真空腔室的外侧且正对基片位置；所述栅网板设置于所述真空腔室的与所述介质窗口相对的另一侧；所述进气管路延伸入所述真空腔室以向所述真空腔室提供工艺气体；所述RF线圈呈平板型螺旋对称结构安装在所述介质平板远离真空腔室的一侧，以使等离子体均匀分布在正对着基片的介质平板上。
天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本538.051265万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目94次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息95条，此外企业还拥有行政许可12个。
