在电子半导体制造领域,过滤技术的精密性和可靠性直接影响产品质量与生产效率。我们的过滤解决方案覆盖从原材料处理到废水净化的全流程,助力企业实现工艺纯净与可持续发展。为了贴合客户的实际应用需求,我们从行业的真实过滤应用场景入手,以飞潮Feature-Tec过滤推荐官的视角,陆续推出行业合集。
本次我们将带领大家一起来了解在电子半导体制造领域,会有哪些常见的过滤纯化需求。我们精心挑选了23款飞潮Feature-Tec的产品,搭配电子半导体制造业的常见核心应用场景与解决方案。在基本材料上包括高纯气体、湿电子化学品、光刻胶、CMP研磨液、超纯水、废水等,涉及的工艺点位有晶圆清洗、化学研磨、薄膜沉积、光刻涂布、刻蚀工艺、封装等,以及整套过滤系统。
飞潮Feature-Tec过滤器系统融合高性能滤材、先进制造工艺及严格洁净控制,广泛应用于电子化学品、超纯气体、超纯水与湿法工艺等关键场景。能够满足半导体、光电、显示面板等行业对过滤精度与可靠性的严苛要求。
产品名称
Gasfil Sintub 高温超纯气体过滤器
Gasfil 高温超纯气体过滤器
GasTM 高温超纯气体过滤器
GasKT 垫片式高纯气体过滤器
GasKS 垫片式高纯气体过滤器
优势特色
耐高温高压,适合动态、反流气体
长寿命&可重复使用,金属滤材(如烧结金属)耐腐蚀
低析出&低吸附:减少气体污染风险,保障工艺稳定性。
应用场景
适用于腐蚀性强或颗粒要求极高的工艺气体过滤,高温环境下的氢气、氮气、氩气、氨气、前驱体等,通常布置在终端工艺腔室或气体分配系统。
折叠膜气体过滤系列产品名称
GIST mini 超纯气体过滤器
GIST Mega 超纯气体过滤器
EG 超纯气体滤芯
MIGHTY-G 全氟超纯气体滤芯
优势特色
高过滤精度:采用PTFE折叠膜,过滤精度1.5nm。
大通量设计:折叠膜结构增大过滤面积,提高流量,降低压降。
化学兼容性广:全氟系列耐酸碱气体、氧化性气体、腐蚀性气体。
应用场景
常温气体末端过滤,用于高纯载气、保护气、工艺气体(如氮气、氩气、压缩空气)过滤、应用在等关键工艺气体系统或厂务气体输送系统。
一体式过滤器
产品名称
NANO 囊式过滤器
VIGOROSO 全氟一体式过滤器
Lunaris CMP 一体式过滤器
Polyflora E/F 光化学过滤器
Polyflora B 光化学过滤器
Lab G5-F 系列过滤器
Lab G5-N 系列过滤器
优势特色
全密闭结构:减少泄漏风险,确保安全降低风险。
紧凑 & 轻量化:一体化设计节省空间,便于安装。
高化学稳定性:部分型号采用全氟材料(如PFA),耐强腐蚀介质。
应用场景
多功能适配:适用WET制程、CMP制程、湿电子化学品输送、光刻等场景应用。
折叠膜液体过滤系列
产品名称
EL 滤芯
TAURUS 高通量PTFE滤芯
LIBRA 全氟亲水PTFE滤芯
MIGHTY 全氟高截留效率滤芯
PEASIC 滤芯
优势特色
多种膜材可选:提供不同化学兼容性与过滤精度(如亲水PES、疏水PTFE等)。
高通量设计:增加有效过滤面积,延长更换周期。
超低析出物:洁净度高,满足半导体、电子级液体工艺需求。
完整性检测可追溯:支持完整性测试,保障工艺安全。
应用场景
适用范围广:应用于超纯水、湿电子化学品、显影液、剥离液等关键化学品工艺应用。
滤壳系列
产品名称
MEGAPOLY PP 过滤器
MEGAPOLY PFA 过滤器
优势特色
模块化设计:可搭配不同滤芯,灵活适配多种应用场景。
高强度材质:如PFA、PP等,耐化学腐蚀,适用于严苛环境。
易维护 & 可扩展:支持快速更换滤芯,降低维护成本。
应用场景
应用场景:化学品输送管路中作为核心过滤装置承载结构,用于清洗液、蚀刻液、显影液、剥离液等液体输送过滤。
飞潮新材Feature-Tec | 电子半导体过滤纯化优质合作伙伴飞潮Feature-Tec是国际知名的过滤分离解决方案提供商,为全球电子产业企业提供安全、及时、可靠、高效的一体化解决方案,产品应用包括电子化学品过滤与净化、制程气体过滤与净化、水系统过滤与净化、洁净室空气环境过滤与净化,和实验室检测技术。飞潮Feature-Tec依靠多年过滤分离研发应用经验和积淀,持续在研发验证测试和工艺生产的投入,为人类电子产业提供更多值得信赖的产品和服务。无论是高纯度的气体、液体,还是复杂的废水处理,我们的过滤解决方案都能为您提供定制化支持,助力企业实现高效、环保、可持续的生产目标。如您对上述产品感兴趣,需要完整的产品样册,或者需要专业的技术咨询,欢迎联系飞潮Feature-Tec,获取专属过滤解决方案。
往期推荐 ·
飞潮半导体过滤检测验证,赋能先进制程高纯保障
飞潮全氟一体式过滤器VIGOROSO,晶圆清洗过滤优选
飞潮SEMI标准湿电子化学品过滤系统,良率提升看得见