光刻机是半导体制造的核心设备，有“现代光学工业之花”的美誉。
它凭借纳米级高精度工艺，成为芯片制造的关键，有力推动了电子产品的微型化与高性能化进程。当下，全球光刻机市场高度集中，被荷兰ASML、日本尼康和佳能三大企业垄断，其中ASML因在高端EUV光刻机领域占据垄断地位，稳坐市场头把交椅。
不过，国际贸易环境变化与国内需求增长，让光刻机国产化迫在眉睫。近年来，我国在光刻机产业链各环节均有突破。
上海微电子装备公司自主研发的600系列光刻机，已实现90纳米工艺芯片批量生产。3月26日，新凯来在SEMICON China 2025展会上，通过照片和模型展示了多款即将发布的产品，涵盖EPI“峨眉山”、ETCH“武夷山”等，覆盖半导体制造全流程。
与此同时，国际形势也带来新变化。
近日特朗普政府发布《美国AI行动计划》，在加速本土“AI创新+AI基础设施建设”、谋求国际AI外交领导地位的同时，加强对华AI计算及半导体制造出口管制，这将促使中芯国际、华虹等国内半导体企业加快转向国产设备。
随着国产设备厂商技术与服务日益成熟，设备国产化比例有望进一步提高。
相关概念股梳理
凯美特气
控股子公司生产的光刻气产品通过ASML子公司Cymer认证，并进入中芯国际、台积电供应链。2024年特种气体业务毛利率提升至45%，技术指标国际领先。
蓝英装备
为ASML独家供应EUV清洗设备，国产化率超80%。其清洗设备占光刻机成本的约10%，精密清洗技术全球领先，同时参与国产光刻机清洗环节研发。
赛微电子
镜技术取得突破，MEMS镜片打入ASML供应链，成为国产光刻镜头的核心供应商。此外，公司还为全球光刻机巨头提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
腾景科技
将光通信技术延伸至光刻机光学链，开发的光刻机平行光源系统已交付多套，支持65nm及以下分辨率光刻工艺。2025年一季度净利润同比增长32.73%，业务增长势头强劲。
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1，母公司是上海微电子第一大股东，并与其建立战略合作关系，助力国产光刻机加速发展。
2，公司近日发布将召开2025年第一次临时股东大会通知，本次会议将讨论重组的相关事项。
3，高管变更+股权转让+股东大会=停牌？
4，上海微电子市场估值月6000亿，要是两者并购重组成功的话可以说远超智元收购上纬新材，目前双成已经12个20cm了，其潜力可想而知。
