科磊申请具有高信噪比的扫描叠加计量专利，产生叠加测量(科磊 待遇)

金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“具有高信噪比的扫描叠加计量”的专利，公开号CN120418729A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，一种叠加计量系统可包含：照明光学器件，其用于将来自照明源的照明分裂成主及次照明且将所述主照明导引到包含具有两个或更多个层中的光栅的叠加目标的样本；及物镜，其用于从所述构成光栅收集正及负衍射。所述系统可进一步包含收集光学器件，其用于使辅助照明与至少一些收集衍射瓣重叠以产生时变干涉信号。所述系统可进一步包含控制器，其用于基于所述时变干涉信号来产生叠加测量。