北方华创取得化学气相沉积用旋转交替支撑工装专利,保证支撑点及其附近的沉积效果(北方华创地位)

北方华创取得化学气相沉积用旋转交替支撑工装专利,保证支撑点及其附近的沉积效果(北方华创地位)

金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创真空技术有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装”的专利,授权公告号CN223176203U,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本实用新型涉及气相生长方法技术领域,尤其是涉及一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装,由于现有技术下的支撑方式会在工件表面形成支撑点,支撑点气流无法达到,支撑点周围会有气流不畅的现象,造成工件支撑点附近镀层质量有问题,支撑点无法镀上镀层,需要进行二次沉积,而本申请可以在化学气相沉积过程中使工件旋转起来,当可升降支撑座下降到底部时,由固定支撑座支撑工件,当可升降支撑座升到顶部时,由该组支撑座支撑工件,从而实现了工件在旋转的同时交替切换两组支撑点,保证了支撑点及其附近的沉积效果,解决工件表面一次性全覆盖镀膜的难题。

天眼查资料显示,北京北方华创真空技术有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6710.49万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创真空技术有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目342次,专利信息271条,此外企业还拥有行政许可8个。

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