BPS-iF30 超高纯度流量控制器 levitronix
BPS-iF30 超高纯度流量控制器 levitronix
家
微电子流量控制器
BPS-iF30 惠普
BPS-iF30 惠普
用于微电子湿法工艺的
超高纯度流量控制器
最大流量3.8升/分钟
最大压力0.28兆帕
流量控制范围4升/分钟
最高流体温度90°C
接液部件材质聚四氟乙烯
探索所有选择
Levitronix® BPS -iF30 高压流量控制器专为微电子湿法工艺中敏感流体的超洁净处理而设计。基于磁悬浮技术，风扇叶轮悬浮于电机磁场驱动下。宽间隙确保运动部件之间无机械接触，从而消除磨损。无需轴承或密封件即可避免磨损或损耗。
叶轮和外壳均采用耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物制成。通过电子调节叶轮转速，可精确控制流体流量和压力。
性能曲线优势下载
性能曲线
优势
业界验证——
适用于半导体制造（及其他领域）的最高纯度泵！
叶轮和泵头壳之间无机械接触
，无磨损，理论上几乎
不会产生颗粒。
极低的颗粒脱落
明显低于气动泵：
Levitronix®泵暴露在液体中的表面积明显小于同等功率的
气动泵。
金属污染极低
极其可靠：
没有轴承或密封件磨损，延长设备正常运行时间，延长工艺设备的使用寿命，并 降低
维护成本。
极长的 MTBF（>100 年）
改进的过滤性能：
开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵送
原理以及无阀门设计可提供无脉动流速，
从而提高过滤性能。
无脉动流量
与气动泵相比
，其体积小得多，没有机械轴承，而且
泵/电机设计高度集成，大大减少了占地面积， 可以
在有限的空间内安装。
占地面积小
非常适合浆料和精细电镀溶液：
由于没有 机械轴承、狭窄的间隙、裂缝、
死区和光滑的湿润表面，
因此可以低应力处理敏感流体。
低剪切仪
无需流量节流阀 - 高精度流量压力
Levitronix 泵
提供可变速度和高分辨率，可在较宽的操作范围内精确控制流量或压力。
高可控性和最宽的流量范围
从几 mlpm 到最大流速，
Levitronix®泵系统 可精确控制并保持从几 mlpm 到最大流速的平稳流动，提供 任何竞争泵或基于阀门的流量控制器的 最高调节比。
最高客流量
进一步紧凑：
流量控制不需要外部控制器，因此
安装成本低。
集成流量控制器
凭借超过 25 年的经验，Levitronix®
泵已在其他高要求行业（包括生物制药制造）中 得到充分认可、验证 和证明。
悠久的历史
用于智能制造的BPS-iF
智能泵系统 可实现高性能数据采集，非常适合
预测性维护和工厂范围的系统集成。
数据挖掘与状态监控
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技术手册
