二手韩一真空镀膜机 光学蒸发镀膜机1600MM 2050MM 2700 MM包安装调试培训
一、核心配置明细 真空系统 真空室尺寸:直径1550-2050mm,高度1800mm(适用于不同型号) 。 泵组配置: 机械泵:爱德华EM275(1-2台) ; 罗茨泵:爱德华EM2600 ; 深冷设备:韩国V-PLUS1000H 。 蒸发与离子源系统 电子枪(EB):韩一12六型双枪配置(1-2支) ; 离子源:韩一霍尔离子源(支持RF射频) ; 阻蒸系统:1组,用于减少蒸发杂质 。 工艺控制 膜厚监控: 晶控系统:XTC+2个品控传感器 ; 光学膜厚仪:HOM2-R-VIS350A(波长350-1100nm) 。 精度:膜厚控制精度达0.002μm 。 辅助设备 工件架:直径1400mm,转速10-30rpm(可调) ; 基板加热:最高温度350℃ 。 (杨经理:18103045976)
二、关键性能特性 镀膜均匀性 采用可变修正板技术,确保Dome全体及Batch间的膜层均匀性 。 操作便捷性 自动化工艺管理(Process recipe + Data Logging),故障自动诊断并提示解决方案 。 耐久设计 Chamber及Door采用防Crack结构,确保长期稳定性 。
三、物理参数与工作条件 尺寸:约1800×2800×3300mm(长×宽×高) ; 重量:9000-11000kg ; 电源:三相200V,50/60Hz,功率≥120KVA 3 ; 冷却水需求:流量≥180升/分钟 。
四、典型应用场景 适用基材:车载玻璃片、滑雪镜、太阳镜、手机盖板、触控屏玻璃等 ; 镀膜类型:ITO膜、AF/AR膜、光学高透膜等