朗姆研究申请用于控制衬底凹口附近的等离子体沉积或蚀刻的下等离子体排除区域环专利,用于衬底处理室的下等离子体排除区域环包括环形体(朗姆种类)

金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“用于控制衬底凹口附近的等离子体沉积或蚀刻的下等离子体排除区域环”的专利,公开号CN120418925A,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,用于衬底处理室的下等离子体排除区域环包括环形体,该环形体包括径向内表面、径向外表面、上表面和下表面。等离子体排除区域(PEZ)环凹口被布置于环形体的上表面和径向外表面上。

特别声明:[朗姆研究申请用于控制衬底凹口附近的等离子体沉积或蚀刻的下等离子体排除区域环专利,用于衬底处理室的下等离子体排除区域环包括环形体(朗姆种类)] 该文观点仅代表作者本人,今日霍州系信息发布平台,霍州网仅提供信息存储空间服务。

猜你喜欢

芯潭微代理 NDP3810KC 车灯驱动器(南京芯潭微电子有限公司)

该器件采用固定关断时间控制架构,通过外部分流电阻的反馈信号精准调控LED电流。NDP3810KC通过DIM引脚同步实现PWM调光与模拟调光功能。 可驱动<1.2A的LED负载 LED开路保护 LED短路保…

芯潭微代理 NDP3810KC 车灯驱动器(南京芯潭微电子有限公司)

“琼瑶女神”『林心如』的堕落史,人生没有后悔药

据说『霍建华』暗恋『林心如』整整5年,这是要上演深情霸道总裁的戏码啊! 但实际捐款只有两次,这操作简直是要把虚伪两个字写在脸上啊。网友们纷纷指责『林心如』毁了『霍建华』的事业,这锅背得也太莫名其妙了吧? 有人说是『林心如』拖…

“琼瑶女神”『林心如』的堕落史,人生没有后悔药

紫晶存储财务造假案宣判 高管获刑最高七年半(紫晶存储主营业务)

2025年12月12日,已从科创板退市的广东紫晶信息存储技术股份有限公司发布重大诉讼进展公告,披露了公司及核心管理层的刑事判决结果

紫晶存储财务造假案宣判 高管获刑最高七年半(紫晶存储主营业务)

何超莲扮青蛙给『窦骁』庆生拥吻 破婚变谣言甜到发糖!(何超莲喜欢)

今天在朋友圈和微博上,看到了一组『窦骁』37岁生日派对的照片,差点被甜得心脏停跳——这组照片在朋友们的圈子里传开,我盯着屏幕愣了几秒钟:这哪是网上传言中感情变淡的两人啊? 我记得有网友曾说过一句话:以前追…

何超莲扮青蛙给『窦骁』庆生拥吻 破婚变谣言甜到发糖!(何超莲喜欢)

海南封关为饮料茶饮出海带来新跳板 政策红利助力企业降低成本(海南封关运作怎么回事)

2025年12月18日,海南自由贸易港正式启动封关运作。在此之前,饮料和新茶饮品牌们已经率先行动。过去两年里,海南成为消费品行业的基建赛场

海南封关为饮料茶饮出海带来新跳板 政策红利助力企业降低成本(海南封关运作怎么回事)