钨铱电子取得硅片用烘干装置专利 更快地烘干硅片(钨的电子排布式示意图)

钨铱电子取得硅片用烘干装置专利 更快地烘干硅片(钨的电子排布式示意图)

金融界2025年8月5日消息,国家知识产权局信息显示,石家庄钨铱电子科技有限公司取得一项名为“一种硅片用烘干装置”的专利,授权公告号CN223192022U,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本实用新型提供的一种硅片用烘干装置,属于硅片烘干技术领域,包括烘干箱体、夹紧组件及驱动器,烘干箱体内部安装有烘干器;夹紧组件包括固定件、支撑件及两个夹紧件;固定件与烘干箱体转动连接;支撑件固设于固定件上;两个夹紧件固设于固定件上,且位于支撑件上方;两个夹紧件具有沿硅片周向转动而夹紧或松开硅片的自由度;固定件上设有控制两个夹紧件转动的限位件;驱动器设于烘干箱体内,且与固定件传动连接。本实用新型提供的硅片用烘干装置,借助支撑件和两个夹紧件固定硅片,减少夹紧组件与硅片的接触面积,同时利用驱动器驱动固定件转动,并带动硅片转动,进而使烘干箱体内部的气体流动,从而更快地烘干硅片。

天眼查资料显示,石家庄钨铱电子科技有限公司,成立于2024年,位于石家庄市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,石家庄钨铱电子科技有限公司专利信息4条。

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