PFA(全氟烷氧基树脂)入珠接头是一种采用高纯度PFA材料制成的管道连接件,通常用于高洁净、耐腐蚀的流体系统中。其名称中的“入珠”指接头内部带有珠状结构,用于增强密封性或便于软管插接。
高纯度材料
PFA为超纯氟塑料,无析出物,避免污染工艺介质,满足半导体行业对洁净度的严苛要求(如ISO Class 1-3级环境)。
低金属离子含量(Na、K、Fe等<1ppb),适用于晶圆加工、湿法蚀刻等敏感制程。
卓越耐腐蚀性
耐受强酸(氢氟酸、硫酸)、强碱、有机溶剂及高纯化学品,长期稳定性优于PP、PVC等材料。
可靠密封防漏
入珠结构设计(珠形密封面)提供双重密封效果,配合PFA弹性变形能力,在高压(可达10bar以上)、高低温(-200℃~+260℃)下仍保持密封性。
低析出与低渗透
防止气体(O₂、H₂O)渗透,保护超纯化学品纯度,减少工艺缺陷。