用于
IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理
・测量1ml/min
以上的微小流量 ・通过数字信号处理
高精度测量微小流量 ・传感器部具有与流体的非接触式结构
・范围广
产品规格：
微液体流量计（传感器分离型）
微LF-300S
型 μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸） 或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸）
测量原理 超声波传播时间差法
被测液体 纯水、水溶液、各种化学溶液
* 请提前检查水以外的液体
自适应流体温度范围 如果您在 15C~80C
* 60C 或更高温度下使用，请提前检查
流体压力 0.5MPa 以下
流体动力学粘度 100mm2/sec 或更小
流量范围 0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I）
0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I）
测量精度 ±0.5%RD （1/8英寸 ： 200 ~ 1000ml/min 条件： 常温、恒温水）
±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min）
±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 条件：常温、恒温水）
±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分钟）
重复性 ±0.2%（纯品，液体温度±0.5C，平均 30 秒）
电源 直流 24V ±10%
功耗 3.6W 或更低
重量 传感器 240 克，探测器 70 克
尺寸 WxHxD（mm） 传感器 97 x 49 x 127
探测器 90 x 25 x 20（不含管）
探测器
管材 PFA（含氟聚合物）
管径 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米
结构 相当于 IP65
包含电缆 5m，连接器连接
Input 部分
数字输出 4 线 RS-422、4 线 RS-485
模拟输出 4-20mA（瞬时流量），负载电阻 500Ω 以下
积分脉冲输出 1ch （集电极开路）
警报输出 1ch （集电极开路）
联系人输入 1ch（零流量设置或完全清除）
键入命令 4 输入按钮
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。
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2025.08.06
