FUJIKIN富士金FCST1030MAC-4J2-F10L-NF3-U半导体、光伏、特种气体输送流量控制器(富士金官网)

合肥栗山供应FCST1030MAC-4J2-F10L-NF3-U 是富士金（FUJIKIN）的一款 高纯度气体集成控制单元（Gas Control Unit, GCU），专为 半导体、光伏、特种气体输送 等应用设计，适用于 NF₃（三氟化氮） 等高腐蚀性/特种气体的安全控制。

核心功能与特点

• 高纯度气体控制：
• 专为 NF₃（三氟化氮） 设计，适用于 蚀刻（Etching）、CVD（化学气相沉积） 等半导体工艺。
• 集成化设计：
• 包含 阀门（VAT）、压力传感器、过滤器、安全切断功能，减少泄漏风险。
• 耐腐蚀材料：
• 阀体材质 SS316L、EPDM/PTFE/Kalrez® 密封，确保长期稳定性。

主要应用

• 半导体制造：
• NF₃ 气体在 干法蚀刻（Dry Etching） 和 腔室清洗（Chamber Cleaning） 中的精密控制。
• 光伏行业：
• 硅薄膜沉积（如 PECVD）工艺中的气体输送。
• 特种气体系统：
• 高纯度 NF₃、WF₆、SiH₄ 等气体的安全分配。