FUJIKIN富士金FUCL-115B-0.023低流量气体控制单向阀(FUJIKIN富士金底座选型手册)

合肥栗山供应FUCL-115B-0.023 是富士金（FUJIKIN）的一款 高精度气体质量流量控制器（MFC, Mass Flow Controller），主要用于半导体、光伏、特种气体输送等行业的 超低流量气体控制。

核心特点

• 超低流量控制：
• 0.023 SLM（标准升/分钟），适用于 微量气体 精确控制（如 SiH₄、H₂、NF₃ 等）。
• 高精度 & 快速响应：
• 精度通常可达 ±1% F.S.（满量程），响应时间 <1 秒。
• 兼容腐蚀性/特种气体：
• 阀体材质通常为 SS316L，可选 EPDM、PTFE、Kalrez® 密封，适用于 腐蚀性、高纯度气体。

主要应用

• 半导体制造：
• CVD（化学气相沉积）、蚀刻（Etching）工艺中的 SiH₄、NH₃、NF₃ 等气体控制。
• 光伏行业：
• 硅薄膜沉积（如 SiH₄/H₂ 混合气体流量调节）。
• 特种气体输送：
• 实验室、分析仪器用 高纯度气体 精密控制。
• 生物医药：
• 反应釜气体流量调节（如 CO₂、O₂ 控制）。