扫描透射电子显微镜（STEM）是一种融合了透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）部分特点的先进显微技术。它借助电子束在样品表面进行扫描，利用电子穿透样品来实现成像。该技术对操作环境和设备要求较高，需要维持极高真空度，其电子学系统也比TEM和SEM更为复杂，这使得STEM在硬件配置和操作维护方面都面临一定挑战，但同时也为其提供了独特的性能优势。
扫描透射电镜的原理
扫描透射电子显微镜通过高能电子束与样品相互作用来获取材料微观结构信息。其核心是电子光学系统，利用电磁透镜将电子束聚焦至纳米甚至原子尺度，对样品表面进行扫描。当电子束穿透样品时，会与样品中的原子产生多种相互作用，产生透射电子、散射电子、特征X射线等信号，这些信号被探测器接收并转化为图像或光谱信息，从而揭示样品的微观结构和化学成分。
不同扫描透射电子显微镜（STEM）探测器的相对位置
扫描透射电子显微镜（STEM）像的成像原理
扫描透射电子显微镜（STEM）像的成像原理:相干成像与非相干成像
