钛媒体App 8月14日消息，近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作，通过“万能离子刀”剥离转移技术在六吋图形化SiN晶圆上集成了高质量的铌酸锂薄膜，并通过晶圆级工艺制备出具备高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器。在该异质集成方案中，氮化硅与薄膜铌酸锂形成混合波导，铌酸锂薄膜无需刻蚀加工，简化了工艺流程。该工作不仅对全流程晶圆级制备硅光异质集成薄膜铌酸锂电光调制器进行了探索，而且为未来硅光平台与薄膜铌酸锂进行晶圆级异质集成的量产奠定了一定基础。（中国科学院上海微系统所官微）
上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展
特别声明：[上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展] 该文观点仅代表作者本人，今日霍州系信息发布平台，霍州网仅提供信息存储空间服务。
猜你喜欢
《如懿传》的宫斗中，除了如懿出类拔萃，其实还有一位狠角色(如懿传的太后是谁演的)
就如同《如懿传》中的宫斗，那些身着华丽服饰、心机深沉的嫔妃们，心思缜密，一场又一场生死博弈，为了权力与宠爱，争斗得你死我活。凭借聪慧机智和深沉的谋略，青樱不仅在乾隆继位的第二年便被册封为娴妃，更在宫廷斗争的每…
杜甫诗句“腊日常年暖尚遥，今年腊日冻全消”写的是哪一天的景象？1.31蚂蚁庄园今日答案
杜甫诗句“腊日常年暖尚遥，今年腊日冻全消”写的是哪一天的景象？这是2026年蚂蚁庄园1月31日庄园小课堂的问题，下面为大家详细介绍2026年1月31日今天蚂蚁庄园课堂小鸡饲料答案。蚂蚁庄园非常好玩，养
厨房调味料品置物架到底有什么妙用？2026年超实用厨房收纳新宠！(厨房调味料品置成什么)
随着2026年厨房收纳潮流的变化，厨房调味料品置物架已经成为许多家庭必备的新宠。本文为您详细分析厨房调味料品多功能置物架的功能亮点、适用场景及选购建议。从节省空间到便捷收纳，轻松打造高效厨房。
格力电器获得实用新型专利授权：“一种下送风空调机组”(格力电器实控人)
证券之星消息，根据『天眼查APP』数据显示格力电器（000651）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种下送风空调机组”，专利申请号为CN202423222361.9，授权日为2026年2月6日。 专利摘要：…
ResMed Mirage FX鼻罩适合2026睡眠辅助治疗吗？
ResMed Mirage FX鼻罩作为一款专业的睡眠辅助设备，在缓解睡眠呼吸暂停上表现出色。它不仅贴合舒适，还易于佩戴，适用于长期需要使用CPAP设备的用户。本文详细解析其适用人群、配置选择、使用技巧以及常见误区。
