许多高端应用，如航空航天、半导体制造和物理实验，要求执行器能在高温、真空等极端环境下稳定工作。压电陶瓷材料本身具有优异的物理化学稳定性，经过特殊设计和工艺处理后，能够完美适配这些苛刻条件。
普通压电陶瓷的居里点（失去压电效应的温度）通常远高于室温，可达200-350℃甚至更高，这意味着其在较高温度下仍能正常工作。通过选择耐高温的陶瓷配方和电极材料，可以制造出专门用于高温环境的促动器。
在真空兼容性方面，压电陶瓷平台表现出色。其主要问题在于材料的放气率。在真空中，某些材料会释放出吸附的气体分子，污染真空环境。通过采用全陶瓷结构、特种不锈钢外壳，并使用低放气率的环氧树脂或直接采用焊接工艺，可以制造出超高真空兼容的压电平台。
此外，真空环境下散热困难，因此需要优化驱动电压和频率，防止过热。我们的真空级压电平台经过特殊设计，确保了在10^-9 mbar甚至更高的真空度下，也能长期、可靠地提供纳米级精密的运动，是同步辐射☢️、空间模拟等领域的可靠伙伴。
