精密对准与定位往往不仅需要单轴的直线运动，更需要复杂多自由度的调整。利用压电陶瓷的灵活特性，可以设计出集成多种运动形式的多自由度平台，如XYθ平台、Tip-Tilt偏摆调整平台甚至六足并联机构。
通过将多片压电陶瓷促动器以特定的机械结构（如柔性铰链）进行集成，一个紧凑的平台就能同时实现多个自由度的运动。例如：
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XY平台：由两组垂直布置的压电促动器驱动，可实现平面内的精密二维扫描。
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Tip-Tilt平台：通常由三个或四个促动器协同驱动一个平台面，实现绕X轴和Y轴的精密角度偏摆，用于激光光束校准、光学镜面姿态调整等。
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Z轴旋转（θz）平台：利用特殊的设计，实现绕Z轴的精密封装旋转。
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所有这些运动都可以在同一个小型化、一体化的平台上实现，并由同一个多通道控制器进行协同控制。这种集成化设计大大简化了系统结构，减少了安装空间，避免了多个独立台子堆叠带来的阿贝误差、挠曲和动态性能下降等问题，为用户提供了即插即用的高精度多维度解决方案。
