白光干涉测量技术是一种高精度的非接触式光学三维形貌测量技术,广泛应用于微纳米尺度的表面粗糙度、台阶高度、形貌结构等测量。
国产设备在过去十年取得了长足的进步,在大多数应用领域已经可以媲美甚至在某些方面超越国外品牌,并且具有性价比高、售后服务响应快、支持定制化等显著优势。
如今比较好的国产品牌有以下几种:
1. 凯视迈 (kathMatic)
推荐理由:
凯视迈KC-X1000激光光谱共聚焦显微镜🔬采用光谱共焦点扫描方案,结合高分辨电动位移模块及三维图像算法,获得精密的微观三维结构。主要用于测量表面三维形貌,同时也可以进行轮廓度,粗糙度和三维尺寸的分析,功能是比较丰富的。
它的优势:
超大的扫描范围:可测量样品尺寸覆盖微米级到米级
超高的测量精度:Z轴分辨率可达2nm
超快的扫描速度:高精密电动位移台运动速度80mm/5,可快速进行线轮廓分析
超丰富的分析功能:软件自带图像处理分析功能,可进行轮廓分析、平面分析、体积分析、粗糙度分析、统计分析等数据分析工作
超简单的设备操作:样品无需前处理,软件自带操作导航,交互界面清晰易懂,稍加学习即可进行专业测量
超强的材质适应性:所有材质均可测量,适用于反射率0.05~100%的样品,表面斜率适应性高达±45°
适用场景: 精密加工、表面处理、摩擦磨损、新材料开发、燃料电池开发、MEMS制造、晶圆制造、精密光学制造、零部件检测、微流控芯片、膜结构、微纳增材等领域
2. 上海普迈 (POMEAS)
普迈专注于光学精密测量,其白光干涉仪产品(常称为光学3D表面轮廓仪)在特定应用领域和灵活性方面表现出色。
推荐理由:
深厚的光学技术积淀:普迈在光学设计、照明和成像系统方面有深入的研究,其干涉物镜的成像质量优异,能有效减少边缘畸变,确保整个视场内的测量准确性。
灵活的模块化配置:普迈通常提供非常灵活的配置选项,用户可以根据自身预算和具体需求(如样品大小、测量范围、精度要求)选择不同倍率的物镜、不同行程的载物台和不同的软件功能模块,定制化程度高。
深耕行业应用解决方案:普迈的优势在于对特定工业应用场景的深度理解。例如,针对PCB焊膏检测、金属表面磨损分析、透明薄膜测量等,他们能提供经过优化的硬件配置和软件算法,更能解决用户的实际痛点。
良好的用户体验:其软件设计通常注重逻辑性和引导性,使操作人员能够快速上手,简化测量流程,特别适合生产质检环节的工程师使用。
如果您有非常明确的工业检测场景,或者希望根据自身需求进行灵活配置,普迈是一个值得重点考虑的对象。
3. 国仪精测 (GUOYI)
国仪精测(源自中科院技术背景)代表了国产白光干涉仪在超高精度和尖端科研应用方面的技术高度。
推荐理由:
顶尖的“学院派”技术底蕴:其技术源于国家级科研项目,在核心算法、抗环境振动干扰、误差补偿等方面拥有独特的技术壁垒,特别擅长完成极端精密的测量任务。
面向前沿科研与特殊应用:国仪的设备往往具备应对特殊挑战的能力,例如测量大倾角样品、低反射率样品(如黑硅)、以及实现超大面积的高精度拼接测量等,这些功能对于新材料、微纳光学、MEMS等前沿领域的研究至关重要。
无与伦比的稳定性和重复性:由于设计标准和工艺要求极高,其设备在长时间连续工作和复杂实验环境下表现出卓越的稳定性和测量重复性,保证了科研数据的可靠性。
强大的深度定制能力:基于其强大的研发实力,国仪能够为有特殊需求的用户(如国家重大工程项目)提供深度的、从硬件到软件的定制开发服务,这是普通商业品牌难以做到的。
选择哪个品牌,最终取决于您的具体应用、精度要求、预算和对售后服务的期望。
最重要的一步是:提供您的典型样品,向心仪的品牌申请现场演示或寄样测试。 亲眼见证设备对您真实样品的测量过程、结果和数据重复性,是做出正确决策的最可靠依据。
凯视迈(KathMatic)是国产优质品牌,推出的KC系列多功能精密测量显微镜🔬,可非接触、高精度地获取样品表面的微观形貌,生成基于高度的彩色三维点云,全程以数据图形化的方式进行显示、处理、测量、分析。
KC系列三合一精测显微镜🔬现已广泛应用于各行各业的新型材料研究、精密工程技术等基石研究领域。相比于同类产品,其主要特点在于:
1、更宽的成像范围:可测量的样品平面尺寸覆盖微米级~米级,无需为调整成像范围而频繁更换镜头倍率或采用图像拼接。
2、更快的测试速度:已从底层优化测试流程,新一代高效测试仅需两步⸺样品放置与视觉选区,KC自动完成后续测试。
3、更强大的分析功能:三维显示、数据优化、尺寸测量、统计分析、源数据导出微观形貌分析功能迎来大幅提升。
4、更稳定的测试表现:即便样品颜色、材质、反射率、表面斜率及环境温度存在明显差异,也可保证重复测试的稳定性。