【深圳商报讯】（记者 钟国斌）9月10日至12日，第26届中国国际光电博览会在深圳国际会展中心举办。本届展会首次采用“光电子+『半导体』”双展联动模式，汇聚全球3800家优质企业创新产品，成为观察中国光电和『半导体』产业发展的重要窗口。
展会上，国家级专精特新“小巨人”企业——深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称恒运昌）董事长乐卫平表示，此次展出的面向7nm及以下先进制程的全频段、多品类射频电源系列产品全部是自主研发，输出精度及稳定性比肩国际顶尖水平，与现场多家头部装备企业达成战略采购。
射频电源作为『半导体』制造过程中的核心零部件，被誉为等离子体工艺设备的“心脏”。在『芯片』制造的刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键工艺环节中，射频电源的频率稳定性、功率精度和长期可靠性直接决定了『芯片』加工的良品率和产品性能。特别是在7纳米及更先进制程中，对射频电源的技术要求呈指数级提升，此前该领域长期被国际巨头垄断。
作为国内领先的集成电路装备核心零部件整体解决方案商，恒运昌经过十余年的持续研发、不断创新和积累，公司构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成3大基石技术和8大产品化支撑技术，实现了核心技术的完全自主可控。
恒运昌推出的CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，响应了集成电路『芯片』制造工艺中对等离子体电源快、准、稳的核心需求，率先在国内攻克了全数字射频电源的技术难题，为集成电路制造产业链的高端等离子体射频电源国产化之路铺设了坚实的基石。
光博会作为国际性展示平台，显著提升了国产『半导体』技术的全球“话语权”。恒运昌在射频电源领域的技术突破，解决了高端『半导体』装备核心部件的供应安全问题，同时打破了国外厂商长期技术垄断，重塑全球市场竞争格局。
